Повернутися до подробиць статті
Компенсаційний ефект в кінетиці хімічної обробки GaAs, InAs, GaSb та InSb бромвиділяючими травильними композиціями на основі розчинів H2O2–HBr з метою вибору ефективних методик їх хімічного полірування
Завантажити
Завантажити PDF