[1]
Пащенко, Г. et al. 2015. Особливості полірування пластин GaAs хіміко-динамічним та безконтактним хіміко-механічним методами. Фізика і хімія твердого тіла. 16, 3 (Вер 2015), 560–564. DOI:https://doi.org/10.15330/pcss.16.3.560-564.