[1]
Новосядлий, С. et al. 2019. Особливості формування НВЧ - арсенід галієвих субмікронних структур великих інтегральних схем. Фізика і хімія твердого тіла. 19, 2 (Трав 2019), 186–190. DOI:https://doi.org/10.15330/pcss.19.2.186-190.