Далекорей, А. et al. 2025. Система автоматичного контролю швидкості хімічного травлення тонких плівок. Фізика і хімія твердого тіла. 26, 1 (Бер 2025), 91–99. DOI:https://doi.org/10.15330/pcss.26.1.91-99.