Далекорей, А.В., et al. «Система автоматичного контролю швидкості хімічного травлення тонких плівок». Фізика і хімія твердого тіла, вип. 26, вип. 1, Березень 2025, с. 91-99, doi:10.15330/pcss.26.1.91-99.