Далекорей, А.В., В.П. Іваницький, А.А. Крючин, Я.П. Легета, В.В. Петров, В.М. Рубіш, М.М. Рябощук, і І.І. Чичура. «Система автоматичного контролю швидкості хімічного травлення тонких плівок». Фізика і хімія твердого тіла 26, no. 1 (Березень 12, 2025): 91–99. дата звернення Жовтень 25, 2026. https://journals.pnu.edu.ua/index.php/pcss/article/view/8778.