Процеси старіння в імплантованих іонами фтору та лазерно опромінених плівках LaGa:ЗІГ
DOI:
https://doi.org/10.15330/pcss.20.2.202-207Ключові слова:
природне старіння, профіль деформації, Х-променева дифрактометрія, іонна імплантація, лазерне опромінення, дефекти структури.Анотація
На основі результатів X-променевого структурного аналізу вивчено зміни кристалічної структури під час природного старіння та лазерного відпалу, які відбувалися в приповерхневих шарах епітаксійних лівок LaGa-заміщеного залізо-ітрієвого гранату, імплантованого іонами F+ . Розглянуто процеси, що відбуваються під час імплантації іонами F+ ферит-гранатових плівок, та процеси, які супроводжують низькотемпературне старіння іонно імплантованих плівок. З експериментальних кривих відбивання, отриманих відразу після іонної імплантації, після лазерного опромінення та через кілька років, визначено профілі деформації. Виявлено два етапи в змінах кристалічної структури приповерхневого порушеного шару з часом. На протязі першого з них максимальна деформація в іонно імплантованому шарі незначно зростала, а на другому зменшувалася. Встановлено, що результати лазерного відпалу та природного старіння приповерхневих шарів імплантованих іонами F+ та лазерно опромінених плівок LaGa:ЗІГ залежать від того, з якої сторони відбувалося опромінення лазером. Однак, результат їх сумарного впливу не залежить від сторони лазерного опромінення.
Посилання
Ion beam applications in surface and bulk modification of insulators (International Atomic Energy Agency, Vienna, 2008).
V.S. Vavilov, A.E. Kiv, O.R. Niyazova, Mekhanizmy obrazovaniya i migratsii defektov v poluprovodnikakh (Nauka, Moskva, 1981).
I. Yaremiy, S. Yaremiy, M. Povkh, O. Vlasii, V. Fedoriv, A. Luсas, Eastern-European Journal of Enterprise Technologies, 6(12 (96)), (2018) (doi: 10.15587/1729-4061.2018.151806).
I.P. Yaremiy, M.M. Povkh, V.O. Kotsyubynsky, V.D. Fedoriv, S.I. Yaremiy, R.I. Pashkovska, Physics and Chemistry of Solid State 20(1), (2019) (doi: 10.15330/pcss.20.1.56-62).
J.F. Ziegler, J.P. Biersack, U. Littmark, The Stopping and Range of Ions in Solids (Pergamon Press, New York, 1985).
B.K. Ostafiychuk, V.D. Fedoriv, I.P. Yaremiy et al., Phys. Status Solidi A 208(9), (2011) (doi:10.1002/pssa.201026749).
V.B. Molodkin, S.I. Olikhovskii, E.N. Kislovskii et al., Phys. Status Solidi A 227(2), (2001).
S.I. Olikhovskii, V.B. Molodkin, E.N. Kislovskii et al., Phys. Status Solidi A 231(1), (2002).
V.M. Pylypiv, O.S. Skakunova, T.P. Vladimirova et al., Metallofizika i Noveishie Tekhnologii 34(11) (2013).
B.K. Ostafiychuk, V.D. Fedoriv, L.S. Yablon et al., Physics and Chemistry of Solid State, 3(4), (2002).
I. Izhnin, V. Bogoboyashchyy, F. Sizov, Proc. SPIE 5957, 595713 (2005).
I.I. Izhnin, E.I. Fitsych, A.Yu. Bonchik, G.V. Savitskiy i.dr., Izvestiya vysshikh uchebnykh zavedeniy. Fizika 55 (8/2) 150 (2012).
B.K. Ostafiychuk, I.P. Yaremiy, S.I. Yaremiy et al., Metallofizika i Noveishie Tekhnologii 35(10) (2012).
A.V. Dvurechenskiy, G.A. Kachurin, E.V. Nidaev, L.S. Smirnov, Impul'snyy otzhig poluprovodnikovykh materialov (Nauka, Moskva, 1982).
R.I. Batalov, V.V. Vorobev, V.I. Nuzhdin et al., Opt. Spectrosc. 125, 571 (2018). (doi:10.1134/S0030400X18100065).
V.P. Voronkov, G.A. Gurchenok, Fizika i tekhnika poluprovodnikov (10), 1831 (1990).
V.V. Titov, Rol' mekhanicheskikh napryazheniy pri legirovanii materialov s pomoshch'yu ionnykh puchkov (Preprint IAE-3774/11, Moskva, 1983).
B.K. Ostafiychuk, I.M.Budzulyak, I.P. Yaremiy et al., Physics and Chemistry of Solid State, 9(1), (2008).
##submission.downloads##
Опубліковано
Як цитувати
Номер
Розділ
