Особливості формування морфології поверхні кремнієвих пластин при дії лазерних імпульсів
DOI:
https://doi.org/10.15330/pcss.18.3.309-312Ключові слова:
електронно-діркова плазма, рекристалізована область, періодичні структуриАнотація
В роботі проведено експериментальні дослідження особливостей геометрії поверхні кремнієвих пластин в зонах дії секундних і мілісекундних лазерних імпульсів. Наведені результати мікроскопічних досліджень періодичних структур, які формуються на поверхнях з кристалографічною орієнтацією (111), (110), (100), а також на площинах, вирізаних під кутом 6о до площини (100) і на аморфних шарах В2О3, нанесених на поверхню кремнію. Одержані результати можуть бути використані для визначення кристалографічної орієнтації поверхні напівпровідників та експресної оцінки ступеня розорієнтації поверхні кристалів.
Посилання
Ye.F. Venger, O.Yu. Semchuk, O.O. Havrylyuk, Lazer-indukovani nanostruktury v tverdykh tilakh (Akademperiodyka, Kyiv, 2016).
B.K. Kotliarchuk, L.H. Mansurov, H.V. Pliatsko, D.I. Popovich, V.H. Savitskiy, Ukrainskiy fizicheskiy zhurnal 27(7), 1066 (1982).
B. Kovalyuk, V. Mocharskyi, Yu. Nikiforov, V. Onisimchuk, D. Popovych, A. Serednytski, V. Zhyrovetsky, Physica Status Solidi (с) 10(10), 1288 (2013).
A.Yu. Bonchik, V.V. Hafiychuk, S.H. Kiyak, H.V. Savitskiy, Poverkhnost’ (fizika, khimiya, mekhanika) 5, 142 (1986).
V.V. Hafiychuk, V.E. Hashpar, DAN USSR А (9), 74 (1985).
B.S. Kerner, V.V. Osipov, Zhurnal eksperimentalnoy i teoretichskoy fiziki 74(5), 1675 (1978).
##submission.downloads##
Опубліковано
Як цитувати
Номер
Розділ
