Scattering of low-energy Ne+ ions from the stepped surface of InGaP(001)<110> at the small angles of incidence

У.О. Кутлієв; М.У. Отабаєв; М.К. Карімов; Ф.К. Машаріпов; І. Войцеховські

doi:10.15330/pcss.24.3.542-548

Автор(и)

У.О. Кутлієв Ургенцький державний університет, Ургенч, Узбекистан
М.У. Отабаєв Ургенцький державний університет, Ургенч, Узбекистан
М.К. Карімов Ургенцький державний університет, Ургенч, Узбекистан
Ф.К. Машаріпов Ургенцький державний університет, Ургенч, Узбекистан
І. Войцеховські Університет Олдерсона Броддуса, Філіппі, США

DOI:

https://doi.org/10.15330/pcss.24.3.542-548

Ключові слова:

іонне розсіювання, півканали, дефекти, комп’ютерна симуляція

Анотація

Методами комп’ютерного моделювання розглянуто розсіювання іонів Ne+ під малими кутами падіння від ступінчастої поверхні InGaP(001) <110> на E₀ = 5 кеВ. Досліджено траєкторії деканалованих іонів з поверхні дефекту, а також їх енергію при розсіянні та від кута розсіяння. Показано, що перед деканалуванням зростає частота й амплітуда траєкторії іонів, які переміщують поверхневий канал, утворений східчастим атомом. Отримано енергетичні розподіли цих іонів і визначено частину спектра, що відповідає цим іонам. Встановлено, що енергетичні деканаловані іони формують піки низької інтенсивності в низькоенергетичній частині спектра.

Посилання

J.M. Haile, Molecular Dynamics Simulation -Elementary Methods, New York, Wiley-Interscience, 386 p. (1992).

M. Kaminsky, Atomic and ion collisions on the surface of a metal. Mir, M., 506 p. (1967).

A. Zanderny, Surface analysis methods, Mir, Moscow, 582 p/ (1979).

V. Eckstein, Computer modeling of the interaction of particles with the surface of a solid body: Tranl. from English. Mir, M, 320 p. (1995).

E.S. Mashkova, Fundamental and applied aspects of spraying solids, Mir, M., 349 p. (1986).

I.N. Evdokimov, Ion-stimulated secondary effects in the near-surface region of a solid, Abstracts of reports of the All-Union Sem. Secondary ion and ion-photon emission, Kharkiv,141 (1985).

E.S. Mashkova, V.M. Molchanov, Yu.G. Skripka, A mechanism of ion scattering by crystal, Physics Letters A. 33, 373 (1970); https://doi.org/10.1016/0375-9601(70)90838-8.

T.Grehl, E.Niehuis, and H.H. Brongersma, Surface Microanalysis by Low-Energy Ion Scattering, Microscopy Today. 19(2), 34 (2011); https://doi.org/10.1017/S1551929511000095.

U.O. Kutliev, M.K. Karimov, F.O. Kuryozov and K.U. Otabaeva, Analysis of InGaP(001) surface by the low energy ion scattering spectroscopy, Journal of Physics: Conference Series 1889, 022063 (2021); https://doi.org/10.1088/1742-6596/1889/2/022063

H.R.J. ter Veen, T. Kim, I.E. Wachs, and H.H. Brongersma, Applications of High Sensitivity-Low Energy Ion Scattering (HS-LEIS) in heterogeneous catalysi, Catalysis Today. 140, 197 (2009); https://doi.org/10.1016/j.cattod.2008.10.012.

M.K. Karimov, F.O. Kuryozov, S.R. Sadullaev, M.U. Otabaev, S.B. Bobojonova, Investigation of Defect InP(001) Surface by Low Energy Ion Scаttering Spectroscopy, Materials Science Forum 1049, 192 (2022); https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/MSF.1049.192.

M.K. Karimov, U.O. Kutliev, M.U. Otabaev, I.A. Khajieva, Investigation of stepped InP(001)<110> surface by the method of low energy ion scattering, Journal of Physics: Conference Series, 2373(3), 032003 (2022); https://doi.org/10.1088/1742-6596/2373/3/032003.

E.S. Parilis, L.M. Kishinevsky, N.Yu. Turaev, B.E. Baklitzky, F.F. Umarov, V.Kh. Verleger, S.L. Nizhnaya, I.S. Bitensky, Atomic collisions on solid surfaces 93, 382 (North-Holland: Amsterdam: 1993).

W. Pilz, J.V. Borany, R. Grötzschel, W. Jiang, M. Posselt, B. Schmidt, Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment 419, 137 (1998). https://doi.org/10.1016/S0168-9002(98)01151-6.

M.T. Robinson, MARLOWE Binary Collision Cascade Simulation Program, Version 15b, A Guide for Users, London, 231p. (2002).

M.T. Robinson, Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms, 67, 396 (1992). https://doi.org/10.1016/0168-583X(92)95839-J.