Morphology of titanium nanofilms onto sapphire at annealing in vacuum

O.В. Дуров; Т.В. Стецюк

doi:10.15330/pcss.26.1.78-83

Автор(и)

O.В. Дуров Інститут проблем матеріалознавства ім. І. М. Францевича НАН України, м. Київ, Україна
Т.В. Стецюк Інститут проблем матеріалознавства ім. І. М. Францевича НАН України, м. Київ, Україна

DOI:

https://doi.org/10.15330/pcss.26.1.78-83

Ключові слова:

морфологія, наноплівки, сапфір, титан, поверхнева взаємодія

Анотація

Досліджено зміну морфології плівок титану на поверхні сапфіру при нагріванні у вакуумі. Покриття взаємодіють з підкладкою, утворюючи дві фази з різною адгезією до сапфіру. Ймовірно, фаза з низькою адгезією є інтерметалідами системи титан-алюміній, а фаза з високою адгезією – оксид титану.

Посилання

Yu.V. Naidych, Y.Y. Gab, B.D. Kostyuk, T.V. Stetsyuk, D.Y. Kurkova, S.V. Dukarov, Reports of the NAS of Ukraine, 35, 97 (2007).

Y. Li, C. Chen, R. Yi, L. He, The brazing of Al2O3 ceramic and other materials. Int J Adv Manuf Technol, 120, 59 (2022); https://doi.org/10.1007/s00170-022-08789-x.

S. Mishra, A. Sharma, D.H. Jung, D.P. Jung, Recent Advances in Active Metal Brazing of Ceramics and Process.Met. Mater. Int., 26, 1087 (2020); https://doi.org/10.1007/s12540-019-00536-4.

J.H. Selverian, F.S. Ohuchi, M. Bortz, and M. R. Notis, Interface reactions between titanium thin films and (1¯1 2) sapphire substrates. J. Mater. Sci., 26, 6300 (1991); https://doi.org/10.1007/BF02387808.

M. Koyama, S. Arai, S. Suenaga, M. Nakahashi, Interfacial reactions between titanium film and single crystal α-Al2O3. J. Mater. Sci., 28, 830 (1993); https://doi.org/10.1007/BF01151265.

H.J. Kang, C.H. Kim, N.S. Park, M.W. Kim, The surface and interface reaction of metal thin film on sapphire substrate. Applied Surface Science, 100-101, 160 (1996); https://doi.org/10.1016/0169-4332(96)00278-4.

X. Xing, H. Wang, G. Xiao, S. Yang, X. Shu, Assessment of titanium metallization thin film deposited on alumina substrate: Microstructure and nano-indentation. J. Mech. Behav. Biomed. Mater., 80, 235 (2018); https://doi.org/10.1016/j.jmbbm.2018.01.036.

F*A*C*T – Reaction-Web [Internet resource]: https://www.crct.polymtl.ca/reacweb_plus.php .

Yu. V. Naidych, Contact phenomena in metal melts (Nauk. Dumka, Kiev, 1972).