Polishing of CdTe, Cd(Zn)Te, Cd(Mn)Te Single Crystals by Iodine in Dimethylformamide

В.Г. Іваніцька; П.М. Фочук

doi:10.15330/pcss.23.2.322-327

Автор(и)

В.Г. Іваніцька Чернівецький національний університет імені Юрія Федьковича, Чернівці, Україна
П.М. Фочук Чернівецький національний університет ім. Ю. Федьковича, Чернівці, Україна

DOI:

https://doi.org/10.15330/pcss.23.2.322-327

Ключові слова:

CdTe твердий розчин, монокристал, швидкість травлення, хіміко-механічне полірування, диметилформамід, йод

Анотація

Досліджено залежність швидкості хіміко-механічного полірування поверхні CdTe, Cd_0,9Zn_0,1Te та Cd_0.95Mn_0.05Te розчинами системи І₂–диметилформамід, модифікованими етиленгліколем та лактатною кислотою, від складу розчину. Визначено технологічну стабільність розроблених травників. Якісні характеристики поверхні встановлені методом атомно-силової мікроскопії та безконтактного профілографічного аналізу. На основі одержаних результатів оптимізовано склади травильних розчинів та технологічні режими проведення хіміко-механічної обробки монокристалів CdTe, Cd_0,9Zn_0,1Te, Cd_0.95Mn_0.05Te.

Посилання

W. Mönch, Semiconductor Surfaces and Interfaces (Springer Series on Surface Sciences, (Springer Berlin, Heidelberg, 2001); https://doi.org/10.1007/978-3-662-04459-9.

A. Vilan and D. Cahen, Chem. Rev., Chemical Modification of Semiconductor Surfaces for Molecular Electronics 117(5), 4624, (2017); https://doi.org/10.1021/acs.chemrev.6b00746.

R.A. Awni, D.-B. Li, C.R. Grice, Z. Song, M.A. Razooqi, A.B. Phillips, S.S. Bista, P. J. Roland, F.K. Alfadhili, R.J. Ellingson, M.J. Heben, J.V. Li and Y. Yan, Solar RRL, The Effects of Hydrogen Iodide Back Surface Treatment on CdTe Solar Cells 3(3), 1800304 (2019); https://doi.org/10.1002/solr.201800304.

J.M. Kurley, M.G. Panthani, R.W. Crisp, S.U. Nanayakkara, G.F. Pach, M.O. Reese, M.H. Hudson, D.S. Dolzhnikov, V. Tanygin, J.M. Luther, and D.V. Talapin, Transparent Ohmic Contacts for Solution-Processed, Ultrathin CdTe Solar Cells, ACS Energy Lett. 2(1), 270, (2017); https://doi.org/10.1021/acsenergylett.6b00587.

E. Bastola, F.K. Alfadhili, A.B. Phillips, M.J. Heben, R.J. Ellingson, Wet chemical etching of cadmium telluride photovoltaics for enhanced open-circuit voltage, fill factor, and power conversion efficiency, J. Mater. Research 34(34), 3988 (2019); https://doi.org/10.1557/jmr.2019.363.

Z.F. Tomashik, V.G. Ivanitskaya, V.N. Tomashik, P.I. Feichuk, and L.P. Shcherbak, Effect of Surface Orientation on the Chemical Etching of CdTe Single Crystals with Iodine in Dimethylformamide, Russian J. Inorgan. Chem. 50(11), 1651 (2005).

V.G. Ivanits’ka, P. Moravec, J. Franc, V.M. Tomashik, Z.F. Tomashik, K. Masek, P.S. Chukhnenko, P. Hoschl, J. Ulrich, J. Electron. Mater., Chemical Polishing of CdTe and CdZnTe in Iodine–Methanol Etching Solutions 40(8), 1802, (2011); https://doi.org/10.1007/s11664-011-1649-2.

M. Chayka, Z. Tomashyk, V. Tomashyk, G. Malanych, A. Korchovyi, Appl. Nanosci., Formation of nanosized relief on the CdTe single crystals surface by bromine-emerging etchants 12, 603, (2022); https://doi.org/10.1007/s13204-021-01716-8.